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真空的概念和划分

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根据不同的应用和常用真空泵及测量仪的有效范围,大致可将真空分为以下几个区域:

 

名称       粗真空      低真空       高真空        超高真空

压强范围    105~1300    1300~10-3     10-1~10-6      10-6~10-10

 

低真空常用机械泵获得,高真空则需由扩散泵来完成,电光源制品在高真空基础上进行才能保证良好品质。

 

2020年7月9日 16:16
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